扫描电子显微镜利用电子束和样品的相互作用产生的信号来观察和分析样品表面形貌的仪器。SEM的工作原理基于电子束与样品之间的相互作用，当电子束照射到样品表面时，会与样品中的原子和分子发生相互作用，从而产生多种信号。电子束的扫描可以得到样品表面的图像，并通过对信号的检测和处理，获得关于样品的形貌、成分和结构等信息。
能谱仪是用于分析样品化学成分的仪器。它利用X射线与样品中的原子相互作用产生的特征X射线能谱来确定样品的元素成分。在SEM-EDXS中，EDXS探测器位于SEM的侧壁，可以同时接收到电子显微镜所产生的激发X射线。当电子束照射样品表面时，样品中的原子被激发产生特征X射线，这些X射线的能量和强度与样品中的元素成分有关。EDXS探测器可以将这些X射线转换为电信号，并通过能谱仪对信号进行处理和分析，从而确定样品的元素成分和分布情况。
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