高纯度BA/EP级半导体真空球阀

高纯度BA/EP级半导体真空球阀参数

操作方式 ：1/4 Turn pneumatic open and close

压力范围： 2 bar ~ 1x10-4 mbar

泄漏率: 9x10-7 mbar.l/sec

材质：316 S.S , PTFE

压力：<=2 bar

温度 ：<=Cylindr 80°C/Body 100°C

空气压缩连接头 : 2x1/4"NPT

气体压力 : 4-7 kg/cm2

奇高主要服务于半导体、平板显示器、太阳能、光电、真空镀膜、其他高性能真空系统、科研机构等高科技领域;多年来持续占有全球市场主要市场份额。奇高阀门专注于真空阀门领域，因其研发创新和业界闻名的好品质，很多半导体芯片设备以及太阳能设备制造厂商都在其机台设备中大量采用了奇高公司的产品。

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