在线椭偏仪

详情介绍  

在线椭偏仪仪器介绍  

在镀膜或刻蚀的过程中，实时监测样品膜的膜厚以及光学常数（n,k）变化。  

在线椭偏仪技术参数  

·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化  

主要特点  

将激发和探测头引入生产设备，可实现:  

·动态模式:实时监测膜厚变化  

·光谱模式：监测薄膜的界面和组分  

HORIBA科学仪器事业部（HORIBAScientific）隶属HORIBA集团，致力于为用户提供先进的检测和分析仪器：包括元素分析、荧光、刑侦、ICP、粒度表征、激光拉曼光谱、椭圆偏振光谱、油中硫分析、水质和XRF等分析仪器。  

结合旗下的技术优势，包括拥有200多年发展历史的光谱制造技术JobinYvon,以及拥有*技术优势的IBH,SPEX,InstrumentsS.A,ISA,Dilor,Sofie,SLM以及BetaScientific等。今天，HORIBAScientific的各种检测分析仪器已经遍布各地，并在中国实现了销售和服务的本土化，位于上海、北京、广州三地的产品专家、售后服务团队以及全国各地的代理商机构可充分保障国内用户的技术咨询以及售后服务需求。

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