精密扫描台

 芯明天放大机构式压电扫描台 N12压电扫描台为1~3维并联式平移扫描台，台体中心方形通孔，内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优 化结构，具有超高的导向精度、高刚性、大负载、无磨损等特点，平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈，实现满行程0.04%的 重复定位精度。

芯明天放大机构式压电扫描台N12压电扫描台特性

• 大位移110μm

• 大承载0.7kg

• 台体中心方形通孔

• 闭环重复定位精度高 • 开环闭环可选

1~3维扫描台

   N12系列压电扫描台包含X、Z、XY、XZ、XYZ五种规格型号。

闭环传感定位精度高

    N12系列压电扫描台配置高分辨率传感器，对位置实时检测 并反馈到压电控制器，控制器通过PID算法调整电压修正位移，从 而实现高精度定位。

    N12.XYZ压电扫描台配套芯明天E72系列模块化控制器应用 于光学显微成像，实现XYZ轴精密扫描。

小体积、大位移、中心通孔

    N12系列纳米定位台体积非常小巧，位移可达110μm。 *的平行运动学设计原理，使得平台可以实现XYZ轴高速 精密运动。这款产品的应用非常广泛，从光学研究到工业化 OEM系统等。

    该系列压电扫描台的通光孔为45×45mm。高刚度以及 优异的直线性使其成为光学、激光领域纳米级精密定位应用。

N12压电扫描台典型应用

 扫描显微

• 共焦显微

• 晶圆定位

• 表面测量

• 图像处理与稳定

• 半导体测试

    N12系列压电扫描台配置高分辨率传感器，对位置实时检测 并反馈到压电控制器，控制器通过PID算法调整电压修正位移，从 而实现高精度定位。

    N12.XYZ压电扫描台配套芯明天E72系列模块化控制器应用 于光学显微成像，实现XYZ轴精密扫描。

小体积、大位移、中心通孔

    N12系列纳米定位台体积非常小巧，位移可达110μm。 *的平行运动学设计原理，使得平台可以实现XYZ轴高速 精密运动。这款产品的应用非常广泛，从光学研究到工业化 OEM系统等。

    该系列压电扫描台的通光孔为45×45mm。高刚度以及 优异的直线性使其成为光学、激光领域纳米级精密定位应用。

N12压电扫描台典型应用

 扫描显微

• 共焦显微

• 晶圆定位

• 表面测量

• 图像处理与稳定

• 半导体测试

https://www.ybzhan.cn/st16132/product_11716314.html
http://www.coremorrow.cn/Products-11716314.html